Zygo 干涉仪

产品名称：Zygo 干涉仪
产品编号：
详细说明：
Zygo 干涉仪
扩大干涉仪孔径-测量较大直径零件

在高 NA 凸件上启用测量。

可用于扩展干涉仪的非球面测量范围

可用于增加空间分辨率

可以缩短干涉仪腔的光学长度, 减少湍流的影响。