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产品名称:Zygo 干涉仪 产品编号: 详细说明: Zygo 干涉仪 扩大干涉仪孔径-测量较大直径零件
在高 NA 凸件上启用测量。
可用于扩展干涉仪的非球面测量范围
可用于增加空间分辨率
可以缩短干涉仪腔的光学长度, 减少湍流的影响。
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